規(guī)格：
| 型號 | RA-H5200 CNC | ||||
| Z軸立柱 | 標準立柱 | 高立柱 | |||
| (垂直移動: 300mm) | (垂直移動: 500mm) | ||||
| 旋轉(zhuǎn)工作臺 | 旋轉(zhuǎn)精度(JIS B 7451-1997) | 徑向 | (0.02+3.5H/10000)μm H: 為測量高度 (mm) | ||
| 軸向 | (0.02+3.5X/10000)μm X: 到旋轉(zhuǎn)工作臺軸的距離 (mm) | ||||
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 2, 4, 6, 10rpm (自動定心: 20rpm) | ||||
| 工作臺有效直徑 | Φ300mm | ||||
| 調(diào)心范圍 | ±5mm | ||||
| 調(diào)水平范圍 | ±1o | ||||
| 臺面承重 | 80kg (自動定心: 65kg) | ||||
| 測量直徑 | Φ356mm | ||||
| 工件直徑 | Φ680mm | ||||
| 垂直移動(Z軸立柱) | 移動直線度(λc2.5) | 窄范圍 | 0.05μm/100mm | ||
| 寬范圍 | 0.14μm/350mm | 0.2μm/550mm | |||
| 與轉(zhuǎn)臺軸平行度(母線要素基準) | 0.2μm/350mm | 0.32μm/550mm | |||
| 移動范圍 | 350mm | 550mm | |||
| 定位速度 | : 60mm/s (測量時: 0.5, 1, 2, 5mm/s) | ||||
| 檢測高度 | 350mm | 550mm | |||
| 檢測深度(使用標準測頭時) | Φ32×104mm (深度), Φ12.7×26mm (深度) | ||||
| X軸 | 直線度 (λc2.5) | 0.4μm/200mm | |||
| 與轉(zhuǎn)臺軸垂直度 (母線要素基準) | 0.5μm/200mm | ||||
| 移動范圍 | 225mm (–25mm ~ +200mm 轉(zhuǎn)臺中心) | ||||
| 定位速度 | : 50mm/s (測量時: 0.5, 1, 2, 5mm/s) | ||||
| 檢出器 | 測力 | 約 40mN | |||
| 標準測頭, 材質(zhì) | Φ1.6mm 硬質(zhì)合金 | ||||
| 范圍 | 標準 | ±400μm/±40μm/±4μm | |||
| 跟蹤 | ±5mm | ||||
| | 其他 | 旋轉(zhuǎn)機構(gòu) (0? ～ 270? 的范圍內(nèi)以1? 增量旋轉(zhuǎn)) | |||
| 其他 | 氣壓 | 0.39MPa | |||
| 空氣消耗量 (標準狀態(tài)) | 45L/min (120L/min 以上氣源) | ||||
| 重量 | 測量主體 | 650kg | 670kg | ||
| 防震臺架 | 170kg | ||||
